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儀器:135-0001-7008
標(biāo)樣:191-9553-7296

FlexSEM1000是日立高新公司新推出的一款機(jī)型小巧性能優(yōu)異的鎢燈絲電鏡,擁有大束流和低球差的物鏡和聚光鏡設(shè)計(jì),配備了高分辨率二次電子探頭及高靈敏度五分割背散射探頭,具有卓越的低真空成像能量,并且采用新的SEM MAP高精度導(dǎo)航系統(tǒng)及新全的自動(dòng)化功能,使性能更加優(yōu)越,使用更加簡(jiǎn)便。

掃描電鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)是,①有較高的放大倍數(shù),2-20萬(wàn)倍之間連續(xù)可調(diào);②有很大的景深,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu);③試樣制備簡(jiǎn)單。 目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置,這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析,因此它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究?jī)x器。

在汽車(chē)和運(yùn)輸、微電子、制造和醫(yī)療器械等行業(yè)中,產(chǎn)品及其組件的性能和使用壽命非常容易受到污染的影響。徠卡 DM6 M LIBS 材料分析解決方案 (參考圖 1) 等二合一解決方案將光學(xué)顯微術(shù) (目視分析) 和激光誘導(dǎo)擊穿光譜 (LIBS) (化學(xué)分析) 相結(jié)合。與掃描電鏡檢查法 (SEM) 和能量色散譜(EDS) 等其他方法進(jìn)行比較,在高效清潔度分析中占據(jù)著優(yōu)勢(shì)。查找和消除污染源更輕松 對(duì)于技術(shù)清潔度,最終目標(biāo)是查找和消除污染源。二合一解決方案可以用更少的時(shí)間和精力識(shí)別污染源,

1. 光學(xué)顯微鏡以可見(jiàn)光為介質(zhì),電子顯微鏡以電子束為介質(zhì),由于電子束波長(zhǎng)遠(yuǎn)較可見(jiàn)光小,故電子顯微鏡分辨率遠(yuǎn)比光學(xué)顯微鏡高。光學(xué)顯微鏡放大倍率高只有約1500倍,掃描式顯微鏡可放大到10000倍以上。 2. 根據(jù)de Broglie波動(dòng)理論,電子的波長(zhǎng)僅與加速電壓有關(guān): λe=h / mv= h / (2qmV)1/2=12.2 / (V)1/2 (?) 在 10 KV 的加速電壓之下,電子的波長(zhǎng)僅為0.12?,遠(yuǎn)低于可見(jiàn)光的4000 - 7000?,所以電子顯微鏡分辨率自然比光學(xué)顯微鏡優(yōu)越許多,但是掃描式電

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